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光通信集成电路设计.pdf

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前言
缩写词表
符号表
目录
第一章 引言
第二章 光纤数字通信网
2.1 信息、媒体、信号和电信
2.2 数字通信
2.2.1 数字和模拟通信
2.2.2 数据通信和数字远程通信
2.2.3 模数转换器和数模转换器
2.3 开放系统互联的七层模型
2.4 PD H
2.4.1 PD H 的比特率
.4.2 基本速率多路复接的帧结构
2.4.3 高速多路复接
2.5 局域网( LA N )
2.5.2 总线式LA N
2.5.3 千兆以太网( G igabit E thernet)
2.5.1 环状L A N
2.6 M A N
2.6.1 FD D I
2.6.2 D Q D B
2.7 W A N 和因特网
2.8 ISD N
2.9 B -ISD N
2.10 异步传输模式( A TM )
2.10.1 信元结构
2.10.2 用户网络接口
2.10.3 A TM 高层
2.10.4 信令
2.11 SD H /SO N E T
2.11.1 SD H /SO N E T 的基本概念
2.11.2 SD H /SO N E T 的网络部件
2.11.3 SD H /SO N E T 的比特率
2.11.4 SD H 的层状结构
2.11.5 SD H 的复接结构
参考文献
第三章 光纤数字传输系统
3.1 光纤传输系统的基本结构
3.2 数据信号源和信号复接
3.2.1 数据信号源
3.2.2 时分复用
3.2.3 波分复用( W D M )
3.2.4 光缆——“ 纤分复用”
3.3 光波调制
3.3.1 光信号的调制方式
3.3.2 相干调制
3.4 光纤
3.4.1 多模光纤
3.4.2 单模光纤
3.4.3 光纤信道的性能分析
3.5 电子中继器
3.6 光纤放大器
3.7 光信号检测——光探测器
3.8 光接收机中的放大器
3.9 数据再生
3.10 分接器
3.11 海底越洋光缆传输系统
3.12 光孤子传输系统
3.13 全光通信
参考文献
第四章 数字传输系统中的信号分析
4.1 数字信号
4.1.1 数字信号和数据信号
4.1.2 数字信号源
4.1.3 数据信号格式
4.1.4 信号频谱分析
4.2 时钟信号
4.2.1 规则时钟信号和门控时钟信号
4.2.2 时钟信号来源及特性
4.3 噪声和干扰
4.3.1 噪声
4.3.2 干扰
4.4 抖动和抖动累积
4.4.1 抖动累积模型
4.4.2 时钟信号传输模型
4.4.3 随机抖动
4.4.4 系统抖动
4.5 数字和时钟信号的测量
参考文献
第五章器件与集成电路的材料与工艺
5.1 半导体材料
5.1.1 硅
5.1.2 砷化镓( G aA s)
5.1.3 磷化铟( InP )
5.2 材料系统
5.2.1 半导体材料系统
5.2.2 半导体/绝缘体材料系统
5.3 外延生长( E pitaxy)
5.3.1 外延生长的目的
5.3.2 液态生长( LPE :L iquid Phase E pitaxy)
5.3.3 气相外延生长( V PE :V apor Phase E pitaxy)
5.3.4 金属有机物气相外延生长( M O V P E :M etalorganic V P E )
5.3.5 分子束外延生长( M B E :M olecular B eam E pitaxy)
5.4 掩模( M ask) 的制版工艺
5.4.1 掩模制造
5.4.2 图案发生器PG ( Pattern G enerator) 方法
5.4.3 X 射线制版
5.4.4 电子束扫描法( E -B eam Scanning)
5.5 光刻( Lithography)
5.5.1 光刻步骤
5.5.2 曝光方式
5.6 刻蚀( E tching)
5.7 掺杂
5.7.1 掺杂目的
5.7.2 热扩散掺杂
5.7.3 离子注入法
5.8 绝缘层形成
5.9 金属层形成[5.28]
参考文献
第六章 晶体管
6.1 晶体管综述
6.2 双极型晶体管
6.3 N M O S 和C M O S
6.4 M E SFE T 和H E M T
参考文献
第七章 光源和光电检测器
7.1 三种类型的光源
7.2 发光二极管
7.2.1 原理
7.2.2 LE D 结构( 几何特性)
7.2.3 元件特性
7.2.4 应用
7.3 激光二极管
7.3.1 发明和发展
7.3.2 原理
7.3.3 材料
7.3.4 结构
7.3.5 LD 特性的理论描述
7.3.6 LD 的电路模型
7.4 光调制器模型
7.4.1 LiN bO 3 M ach - Zehnder 调制器
7.4.2 电吸收调制器
7.4.3 光调制器的特性
7.4.4 激光器/调制器模块
7.5 光检测器
7.5.1 基本结构和原理
7.5.2 p i n 光电二极管
7.5.3 雪崩光电二极管( A PD )
7.5.4 M SM - PD
7.5.5 电路模型
参考文献
第八章 无源器件
8.1 互联线
8.2 电阻
8.3 电容
8.4 电感
8.5 变压器
8.6 分布元件
参考文献
第九章 模拟电路技术
9.1 单端晶体管组态
9.2 差动晶体管组态
9.3 容性耦合电流放大器
9.3.1 电路结构
9.3.2 等效电路
9.3.3 关键参数的推导方法
9.3.4 关键参数的表达式
9.3.5 C- 3 A 的负输入电阻和电导
9.3.6 C- 3 A 的跨导
9.3.7 C -3 A 的大信号性能
9.4 放大器
9.4.1 宽带放大器
9.4.2 带通和窄带放大器
9.5 压控振荡器
9.5.1 振荡器和压控振荡器
9.5.2 振荡器的原理
9.5.3 电路结构
9.5.4 射极( 源极) 耦合多谐振荡器
9.5.5 环形V C O
9.5.6 采用差动C -3 A 的V C O
9.6 混频器和鉴相器
9.7 移相器
9.7.1 移相器的分类
9.7.2 固定移相器
9.7.3 可变移相器
附录1  E C- 3 A 电路输入电阻和串联电容的表达式
附录2  E C -3 A 电路输入电导和并联电容的表达式
附录3  E C- 3 A 电路跨导的幅度相位表达式
附录4  公式(9.40) 的推导
参考文献
第十章 数字电路系统
10.1 基本逻辑电路
10.2 晶体管- 晶体管逻辑电路( TTL)
10.3 射极耦合电路( E CL )
10.4 N M O S 逻辑电路
10.4.1 有源逻辑门
10.4.2 N M O S 传输门
10.5 C M O S 逻辑电路
10.6 M E SFE T 和H E M T 逻辑电路
10.6.1 缓冲场效应管逻辑B FL
10.6.2 肖特基二极管FE T 逻辑电路SD FL
10.6.3 直接耦合FE T 逻辑电路( D C FL )
10.6.4 超级缓冲FE T 逻辑单元SB FL
10.6.5 源极耦合FE T 逻辑电路SC FL
10.7 时序逻辑电路
10.7.1 R S 触发器
10.7.2 D 触发器
10.7.3 分频器
参考文献
第十一章 电路设计工程技术
11.1 模拟、数字和混合电路
11.2 信号类型与电路结构
11.2.1 单端结构
11.2.2 差分结构
11.2.3 结构转换
11.3 宽带和窄带电路
11.4 反馈技术
11.5 频率补偿
11.6 电路匹配
11.6.1 电源匹配
11.6.2 电平匹配
11.6.3 阻抗匹配
11.6.4 功率匹配
11.7 低功耗设计
11.7.1 降低电压
11.7.2 降低电流
11.8 接口电路
11.8.1 接口电路的功能
11.8.2 C M L
11.8.3 LV D S
参考文献
第十二章 复接器与分接器
12.1 基本结构
12.2 复接器
12.3 分接器
12.4 按字节复接与分接
12.5 时钟发生电路
参考文献
第十三章 光数字发射机
13.1 引言
13.2 光发射机的设计概述
13.2.1 光发射机电路
13.2.2 光发射机参数
13.2.3 发光器件偏置电路
13.2.4 电路结构
13.2.5 功耗
13.2.6 自动功率控制和自动温度控制
13.3 电流驱动器
13.3.1 单端电流驱动器
13.3.2 电流模逻辑电流驱动器
13.3.3 可缩短关断过程的电流驱动器
13.3.4 脉冲整形电流驱动器
13.4 电压驱动器
13.4.1 必要性和优越性
13.4.2 基本电路
13.5 超高速激光二极管电压驱动器
13.5.1 电路图及原理
13.5.2 性能分析
13.5.3 模拟结果
13.5.4 芯片制作
13.5.5 实验结果
13.6 C M O S 工艺超高速激光驱动器
参考文献
第十四章 光接收机前端放大器
14.1 光接收机基本结构
14.2 光接收机前端
14.2.1 概述
14.2.2 性能理论分析
14.2.3 前置放大器
14.3 均衡器和滤波器
14.4 主放大器
14.4.1 A G C 放大器
14.4.2 限幅放大器
14.4.3 分布式放大器
14.5 光接收机前端放大整体电路设计举例
14.5.1 前置放大器设计
14.5.2 主放大器设计
14.5.3 工艺实现与测试结果
参考文献
第十五章 时钟恢复
15.1 时钟恢复概述
15.1.1 时钟恢复电路的作用和总体结构
15.1.2 最佳时钟恢复
15.1.3 两种时钟恢复原理
15.1.4 四种时钟恢复电路
15.2 时钟信息检测
15.2.1 时钟信息检测器的作用和结构
15.2.2 N R Z 信号预处理器
15.3 使用无源滤波器的时钟恢复
15.3.1 原理结构
15.3.2 应用于时钟恢复的滤波器
15.2.3 预处理器的变换因子
15.4 采用窄频再生分频器的时钟恢复
15.4.1 背景和历史
15.4.2 N R F D 的性能分析
15.4.3 采用N R FD 的C R 的框图和工作原理
15.4.4 采用N R FD 的C R 的工作模式
15.4.5 电路技术
15.4.6 实验结果
15.5 采用同步振荡器的时钟恢复
15.6 使用锁相环的时钟恢复
15.6.1 PL L 特性
15.6.2 捕获技术
15.6.3 相频检测器与电荷泵
15.6.4 PL L 电路技术
15.6.5 C R 中P LL 的设计
15.6.6 PL L 实现
15.7 采用同步振荡加PLL 的时钟恢复
参考文献
第十六章 数据判决
16.1 判决电路基本构成
16.2 利用瞬时值判决
16.3 利用平均值判决
16.4 利用积分值判决
16.5 利用D 触发器的判决电路
16.6 并行处理判决器
16.7 带自动相位调整的判决电路
参考文献
第十七章 光纤通信光电集成电路
17.1 对光纤通信光电集成电路的需求、挑战与实现
17.1.1 需求
17.1.2 挑战
17.1.3 实现
17.2 光发射机光电集成电路
17.3 光接收机光电集成电路
参考文献
第十八章 集成电路CA D
18.1 集成电路计算机辅助电路模拟
18.2 版图设计
18.3 版图检查
18.3.1 设计规则检查D R C
18.3.2 电路提取
18.3.3 电气规则检查E R C
18.3.4 版图与电路图对照LV S
18.4 提交版图数据与流片
参考文献
第十九章 芯片测试技术
19.1 在晶圆测试
19.2 芯片测试台
19.3 与芯片接触方式
19.4 绑定和封装后IC 的测试
19.5 测试系统
第二十章 压焊和封装技术
20.1 用于固定和连接芯片的衬底
20.2 键合技术
20.3 封装技术
20.4 混合集成与微组装技术
20.5 引线分布参数
20.5.1 电阻
20.5.2 电容
20.5.3 电感
20.5.4 特征阻抗
20.5.5 封装寄生电容、电感数据
20.6 芯片散热
参考文献
光纤通信集成电路设计 王志功 著 高等教育出版社
郑 重 声 明 高等教育出版社依法对本书 享有专 有出 版权。 任何未 经许 可的复 制、销售 行为均违反《 中华人民共和国著作权法》,其行 为人将承 担相应 的民事责 任和行 政责任,构成犯罪的,将被依法追 究刑事 责任。 为了 维护市 场秩 序,保护读 者的 合法权益,避免读者误用盗版书造成不良后果,我社将配合行政执法部门和司法 机关对违法犯罪的单位和个人给予严厉打击。社会各界人士如发现上述侵权行 为,希望及时举报,本社将奖励举报有功人员。 反盗版举报电话:(010) 82028899 转 6897 (010) 82086060 传真:(010) 82086060 E 通信地址:北京市西城区德外大街 4 号 高等教育出版社法律事务部 m ail:dd@ hep.com .cn 邮编:100011 购书请拨打读者服务部电话:(010)64054588 责任编辑 李 刚 责任绘图 朱 静 封面设计 王凌波 版式设计 陆瑞红 责任校对 王效珍 责任印制
内容提要 本书讨论的内容包括与光纤通信系统和信号的有 关问题,与 制造光 纤通信 用 IC 相关的 材料与工艺,光纤通信系统中作为电子有源器件的 各类晶体管,作为光 有源器 件的发 光二极 管、激光二极管和激光调制器,包括互联线、电阻、电容、电 感和传 输线在 内的无 源元件,处理 光电信号的模拟与数字集成电路,包括电路整体结构、电平和阻抗匹配等电路设计工程问题。 本书的核心内容是讨论光发射机中各种功能电路的原理和设计技术,它们包括三种类型的复 接和分接电路,光电二极管、激光二极管和激光调制器的三类驱动电路,前置放大和主放大电 路,时钟恢复电路和数据判决电路。简述光发射机和接收机光电集成( O E IC ) 的设计 和实现。 简要介绍几个重要的 CA D 软件,给出了一些电路模拟和版图设计的知识和经验。简述 IC 测 试的有关技术和 IC 键合与封装的有关技术。 图书在版编目( C IP ) 数据 光纤通信集成电路设计 /王志功著.—北京:高等教 育出版社,2003.5 ISB N 7 - 04 - 011990 - 0 Ⅰ.光... Ⅱ.王... Ⅲ.光纤通信 - 集成电路 - 电 路设计 Ⅳ.TN 929.11 中国版本图书馆 C IP 数据核字(2003 )第 025209 号 出版发行 高等教育出版社 购书热线 010 - 64054588 免费咨询 800 - 810 - 0598 社 址 北京市西城区德外大街 4 号 邮政编码 100011 网 址 http: //w ww .hep.edu.cn 总 机 010 - 82028899 http: //w ww .hep.com .cn 经 销 新华书店北京发行所 排 版 高等教育出版社照排中心 印 刷 开 本 787× 960 1 /16 印 张 27.75 字 数 510 000 版 次 年 月 第 版 印 次 年 月 第 次印刷 定 价 42.80 元 本书如有缺页、倒页、脱页等质量问题,请到所购图书销售部门联系调换。 版 权所有 侵 权必究
序 呈现在读者面前的这本书是王志功教授在电子通信领域 30 多年学习、研究 和教学过程中获得的知识、经验和成 果的总 结。我 很高 兴地向 读者 推荐此 书和 它的作者。 1994 年底,王志功博士在教育部和科学院有 关部门 安排下回 国进行讲 学和 交流。他在清华大学参观访问期 间,我同他 进行 了深 入交谈。 他在 硅基和 砷化 镓基集成电路特别是光纤通信用超高速集成电路方面的研究成果和报效祖国的 拳拳之心给我留下深刻的印象。他 在德国 波鸿 鲁尔 大学取 得博 士学位 后,进入 了德国弗朗霍夫应用固体物理研 究所。 在两年 博士 后研究 和两 年客 座研究 中, 设计出上百种集成电路,在重要期刊和 有影响 的国 际学 术会议 上发 表了数 十篇 论文和报告,申报了多项德国和国际发明 专利。1997 年 10 月,王志 功博士 放弃 国外优越的研究和生活条件,作为国务院人事部归国定居专家回国工作,受聘为 东南大学无线电系教 授、博士 生 导师、电 路与 系 统学 科带 头人, 领导 创建“ 射频 与光电集成电路研究所”。5 年多来,建立起一支 80 多人 的高水平 学术梯 队,培 养出一批集成电路设计人才,建成了一 个完整 的无 生产 线集成 电路 设计软 硬件 环境和一个射频与超高速集成电路芯片测试实验室。建成了国家 863 计划射频 芯片多项目晶圆制 造服 务中 心。王 志功 教 授和 他 领导 的 研究 集 体 活跃 在 微电 子、光电子、光纤通信和无线通信等 多个领 域,特别 是在 超高速 和射 频集成 电路 设计方面做出了卓有成效的工作,完成 了十 多项国 家级、省 部级 研究项 目,设计 并实现了十多批几十种光纤通信用超高速集成电路和移动通信与无线接入用射 频集成电路,多种达到世界先进水平。王志功教授 1998 年被推选为国家 863 计 划光电子主题第五届专家 组成 员,同年获“ 国家 杰出 青年 科学基 金”,2000 年荣 获“ 教育部长江学者特聘教授”。 此书内容丰富,取材先进,有一系列创新见解和独到之处。书中概述了从数 字通信技术到光纤通信系统的基本知识;分析了光传输系统中的数据信号、时钟 信号的时域和频域特性;介绍了硅、砷化镓、磷化铟等微电子和光电子材料,以及
Ⅱ 序 由这些材料为基础开发的半导体工 艺和由 这些 工艺 实现的 晶体 管、光电子 器件 以及集成电路技术。作为核心内容,讨论了与光纤传输系统相关的复接器、分接 器、激光驱动器、光接收前端、时钟恢复 和数据 判决 等各 种超高 速集 成电路 与光 电集成 电路的设 计;并讨论了 集成电 路设计 C A D 技 术、芯片测试 和封装等 一系 列工程技术问题。这本书的鲜明特 点是 理论 与实践 结合,实 用性 强,图文并 茂, 260 余幅图中包 含 20 幅实 际芯片显微照片,光纤 传输系统中的各功 能电路都给 出芯片设计实例和测试结果,并有 30 余张列表和 500 多篇参考文献。 我相信,这本书将帮助有兴趣的读 者循序 渐进 地跨 入光纤 通信 集成电 路设 计这一高新技术领域,创造出新的研 究成果 和实 用产 品。这本 书不 仅可推 荐用 作研究生参考教材,而且适合作为从事光纤通信技术研发工作的参考书。 周炳琨 清华大学教授,中国科学院院士 国家 863 计划光电子主题第一、二、三届专家组组长 2003 年 3 月于北京
前  言 过去 20 余年间,在电信和数据通信领域最富有革新意义的莫过于光纤通信 与相关技术的巨大进步。当人们谈 论到高 科技 的时 候,无疑会 把光 纤通信 列举 出来。关于光纤通信已 经 有成 千上 万的 论 文发 表 于几 百 种专 业 期 刊和 学 术会 议。同时也出版有许多专著和教 科书。然 而就 作者 所知,现在 还没 有一本 全面 论述光纤通信用超高速集成电路设计的专著,因此,本书尝试对这样一个在世界 范围内蓬勃开展研究的领域给出一个尽可能系统的介绍。 本书是作者在通信领域 30 余年工 作、学习、研 究和 教学过 程中 获得的 知识 与经验的总结。作者撰著本书有三个目的: 首先,希望对作者近 20 年围绕 本题目 所做 的研 究工作 加以 回顾和 总结,以 利于今后研究工作的深入展开,同时有利于与国内外同行进行经验交流。为此, 作者做了最大努力对自己过去 20 多年 在相关 领域 所做 的研究 和积 累的经 验给 出较为详细的介绍。特别是作为本 书核心 内容 的第 9 至 16 章 大部 分取自 作者 单独或与研究同事共同申请的发明专利和发表的论文。作者希望,这些想法、概 念和技术能够为国内外同行所共享。 第二个目的是希望借助本书向研究生和刚进入光纤通信集成电路设计领域 的工程师介绍有关的基本知识和技 术,引导他 们进 入这 个崭新 而广 阔的研 究和 技术领域。基于这个目的,作者对与此领域相关的知识作了较为详尽的叙述,希 望读者尽快了解这个涉及多个学科的专业领域。 第三个目的是给系统工程师和工艺工程师提供一些目前电路设计技术发展 的信息,希望他们通过这本书了解电路 设计者 在光 纤通 信领域 所作 的研究 工作 和取得的进展,为他们的系统研制或工艺开发提供可能感兴趣的知识。 本书的核心内容是 讨论 与光 纤 传输 系 统相 关 的各 种 超高 速 集 成电 路 的设 计。这些电路包括复接器、分接器、激光驱动器、光接收前端、时钟恢复和数据判 决等。书中将分 6 章内容对它们进行论述。 随着集成电路技术的飞速发展,系统、电路、器件之间的界限正在逐渐消失。
Ⅱ 前 言 今天,集成电路已经发展到芯片系统( SO C ) 时代,包括光发射机和接收机 的各类 系统单片集成是集成电路发展的大趋势。集成电路设计者应该更多地了解有关 系统方面的知识。因此,本书用数章的篇幅概述了从无线通信、数字通信的系统 技术到光纤通信系统的基本知识。 现在,集成电路设计、制造 和封 装的 产业已 经分 立运 行。代 工 ( Foundry) 工 艺线的存在为无 生产 线( Fabless) 集 成 电路 设计 提供 了发 展 的机 遇。对 集 成电 路设计工程师来说,这时虽然不需要去关心具体集成电路工艺制造的细节,但了 解不同工艺的基本步骤、不同器件的特点和基本电路形式是非常重要的。因此, 本书用数章的篇幅介绍了硅、砷化镓、磷化 铟等 微电 子和光 电子 材料,以这 些材 料为基础开发的多种半导体工艺和 由这些 工艺 制造 的多种 晶体 管器件、光 电子 器件以及集成电路的特点和应用。 本书最后 3 章讨论了集成电路设计 C A D 技术、芯片测试和封装等一 系列工 程技术问题。由此使读者对集成电路设计的整个过程有一个全面的了解。 作者从大学 学 习 时 代 就 开 始 学 习 通 信 系 统 理 论, 在 数 字 通 信 技 术、电 路 C A D 技术、双极型硅电路设 计、砷化镓 电路 设计 和 C M O S 电路 设计 方面 做过 20 多年的研究和教学工作,近十多年来致力于 2.5 G b /s 到 40 G b /s 光传输 系统集 成电路的设计。尽管如此,要写出这样 一本涵 盖光 纤通 信集成 电路 设计中 各个 方面内容的书,还是感 到有 不少 困 难。因 此,本 书 中难 免 还存 在 着 不少 遗 漏之 处、不够准确之处和不当之处,我欢迎并感谢广大读者给予批评指正。 致谢: 本书 是我 1997 年回国以 后在几 百页英文 手稿的 基础上先 翻译后修 改和补 充完成的。补充部分主要是近 5 年 我带领 青年 教师、博 士生和 硕士 生在深 亚微 米 C M O S 工艺基础上设计超高速集成电路方面取得的成果。他们在本书文稿的 翻译和整理过程中也做了很多工作。在此向他们表示感谢。 本书中一大部分特别是砷化镓电路方面的研究成果是我在德国弗朗霍夫应 用固体物理研究所做博士后和客座 研究 员的 7 年 期间完 成的。 这里,我衷 心地 感谢弗朗 霍 夫 应 用 固 体 物 理 研 究 所 的 前 任 所 长 R upprecht 教 授, 现 任 所 长 W eim ann 教授和前任副所长 B erroth 教授,感谢他们对我在该研 究所工作 期间对 我的鼓励和支持! 感谢该研究所特别是器件与电路部和工艺部 众多同事 的合作 与支持。 我衷心地感谢我的博士导师德国波鸿鲁尔大学 B osch 教授 对我十余 年研究 工作的指导、鼓 励和 支 持。 感 谢 波 鸿 鲁 尔 大 学 的 Langm ann 教 授、R ein 教 授 和 Schreiber 教授 对我 在双 极型硅 G H z 光 传输系 统集 成电 路的研 究工 作中给 予的 指导和帮助。
前 言 Ⅲ 我衷心感谢我的研究 生导师 沈永 朝教 授, 感 谢他 在 1978 年—1981 年 间对 我研究生论文关于集成电路计算机辅助设计研究课题的指导。 我准备该书的过程, 也正是我 夫人吕 晓迎 攻 读博 士、做博 士 后以 及和 我一 起回国开创事业的过程。尽管如此,她 仍以极 大的 热情 和奉献 的精 神全力 地支 持着我的写作。这里,我向她表示衷心感谢! 感谢周炳琨院士在百忙之中 审阅本 书,欣然 为之 作序。感 谢谢 世钟教 授在 审稿过程中给予的指正。事实上,多年以来我一直得到他们二位的指导和支持。 感谢高等教育出版社给予我出版此书的鼓励和支持。 最后,我要感谢在我学习和工作过程中所有曾经关心、支持和帮助过我的所 有人们! 作 者 2003 年 1 月 1 日于南京
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