silvaco TCAD（win版）学习资料.pdf

发布时间：2022-06-08 发布人：admin 分类：说明书资料大小：2.93M 资料格式：pdf 举报版权申诉

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资料目录

第1章仿真准备

1.1 认识Silvaco TCAD

1.1.1 数值计算

1.1.2 基于物理的计算

1.2 Silvaco TCAD

1.2.1 主要组件

1.2.2 目录结构

1.2.3 文件类型

1.3 DeckBuild命令

1.3.1 命令格式

1.3.2 Go

1.3.3 Set

1.3.4 Tonyplot

1.3.5 Extract

1.4 学习方法

第2章二维工艺仿真

2.1 ATHENA 概述

2.2 仿真流程

2.2.1 定义网格

2.2.2 衬底初始化

2.2.3 工艺步骤

2.2.4 抽取特性

2.2.5 结构操作

2.2.6 Tonyplot显示

2.3 单项工艺

2.3.1 离子注入

2.3.2 扩散

2.3.3 淀积

2.3.4 刻蚀

2.3.5 外延

2.3.6 抛光

2.3.7 光刻

2.4 集成工艺

2.5 优化

2.5.1 优化设置

2.5.2 待优化参数

2.5.3 优化目标

2.5.4 优化结果

第3章二维器件仿真

3.1 ATLAS概述

3.2 仿真流程

3.3 定义结构

3.3.1 命令语句生成结构

3.3.2 DevEdit编辑得到结构

3.4 材料参数及模型

3.4.1 接触特性

3.4.2 材料特性

3.4.3 界面特性

3.4.4 物理模型

3.5 数值计算方法

3.6 获取器件特性

3.6.1 直流特性

3.6.2 交流小信号特性

3.6.3 瞬态特性

3.6.4 高级特性

3.7 仿真结果分析

3.7.1 实时输出

3.7.2 日志文件

3.7.3 DeckBuild抽取

3.7.4 Tonyplot显示

第4章高级的特性

4.1 三维仿真

4.1.1 三维工艺仿真

4.1.2 三维器件仿真

4.1.3 Tonyplot3D

4.2 C解释器

附录A 材料系统

A.1 材料类型

A.2 自定义材料

附录B 物理

B.1 基本半导体方程

B.2 基本的载流子统计理论

B.3 边界物理

B.4 物理模型

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