Zemax 激光光学设计实例应用——自学案例汇编
013:迈克尔逊干涉仪仿真
在这一节的实例中,我们要采用干涉分析等工具来仿真物理光学现象。下面,我们一边
建模一边讨论。
图 13-1 理想成像 LDE 编辑器列表
图 13-2 理想成像结构及像差分析图列表
我们先建立一个简单的理想光学成像系统(4F 系统),系统设置中,物方类型选择物
面数值孔径(随意设置一个合理的值);波长为默认;视场为默认 0 度。在透镜数据编辑器
中输入如图 13-1 所示的数据。停止面(Surface 1)的类型选择“Paraxial XY”(傍
轴光线),这样就可以将这个面设置为“理想薄透镜”。注意,“Paraxial”为旋转对称理
想透镜,“Paraxial XY”为两轴分离理想薄透镜,可以分别设置两个轴不同的光焦度,
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即单独设置一个轴就成为“理想柱面镜”。其参数“X-Power”和“Y-Power”分别为两个
轴的光焦度,即理想焦距的倒数。
然后打开 3D Layout 查看光路结构,同时调出各种像差分析图,例如点列图、光扇
图、光程差 OPD 图表等等,看看理想情况想的像差分析图表是什么样子的。如图 13-2 所
示,像差图分析结果像差均为 0,点列图为理想点。
再来看看理想情况下的成像效果。点击 Analysis→Image Simulation→Image
Simulation 打开成像仿真器,默认情况下的成像仿真为网格线条模式,如图 13-3 所示。
图 13-3 理想成像仿真分析(网格线条模式)
点击设置菜单,更改输入文件,根据自己的喜好选择物方图像。软件自带了一个 BMP
格式的演示图片(高一点的版本才有),可以用来模拟拍照实际成像效果。参数设置如图 13-4
所示,其中视场高度(Field Height)选项与系统设置中的视场类型有关,如果系统设
置中视场类型为视场角度,那么这里应该是指物面对停止面 STO 的张角(全角),所以视
场高度若再设为 0,则表示物面尺寸为 0,可能无法看到成像。将视场高度(Field Height)
的值设为 5(度),表示物面高度(Y 方向)尺寸设定为 tan5*50=4.4mm。而 X 方向(宽
度)则根据图片的比例(像素比例)直接换算得到。设置完毕,得到理想成像系统的成像效
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果如图 13-15 所示,成像比例一比一,清晰度和原图一样。如果你要采用自己感兴趣的仿
真图片,可以自己将 BMP 格式的图片放在 IMAFiles 文件目录下即可。
图 13-4 成像仿真分析参数设置(照片演示模式)
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图 13-5 理想成像仿真分析(照片演示模式)
接下来,我们要采用干涉分析来检验像面的波前特性。在主菜单点击 Analysis→
Wavefront→Interferogram 打开干涉分析图像。这时候,我们发现没有任何干涉图像。
为何?
那是因为这里我们将像面放在了理想成像系统的最佳像面处,这时各种像差为 0,点列
图为理想点,因此是无像差光学系统,波前光程差为 0,无干涉图样出现。
但是如果将像面位置偏离理想像面,这时就存在像差了——离焦。将 Surface 2 的
厚度由 50 改为 50.1,并打开干涉图样参数设置对话框,如图 13-6 所示,设置好参数。
注意,我们看到参数设置中有两个光束选择选项,分别为 Beam1 和 Beam2,因为干涉必须
是两束光,其中一束是设计光路中的光束,还有一束是默认的参考光束(Reference)。
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图 13-6 干涉图像仿真参数设置
图 13-7 干涉图像仿真分析
设置好参数,确认返回图像窗口,得到如图 13-7 所示的干涉图样。这是典型的牛顿
环干涉图样。为了逐步深入,我们再来看看两束设计光路的干涉情况。要用到多重结构。如
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图所示,输入 LDE 编辑器面型数据,物方设为物面数值孔径 0.2,其他系统参数可以默认。
Surface 1 和 Surface 2 分别为焦距不同的理想柱面镜准直,Surface 3 为理想透镜
聚焦,如此可以获得一个椭圆光斑(离焦的时候)。
图 13-8 理想系统 LDE 编辑器列表
然后打开多重结构编辑器,增加一个结构,将两个柱面镜改为单个理想圆透镜准直,使
得聚焦光斑为圆形对称。如图 13-9 所示。然后打开报告图表(Report Graphic 4)设
置参数使其分别显示光路结构和离焦光斑点列图,如图 13-10 所示,结构 1 为椭圆光斑,
结 构 2 为 圆 对 称 光 斑 。 然 后 再 次 设 置 参 数 , 将 上 面 两 个 子 图 改 为 干 涉 图 样
(Interferogram),且分别与参考光束干涉,如图 13-11 所示。
图 13-9 多重结构编辑器列表
可见,结构 1 和结构 2 的参考光干涉图样均为牛顿环,只不过结构 1 为椭圆形牛顿
环。也就是说,当结构 1 和结构 2 分别与参考光进行干涉的图样不同时,两个结构之间才
能形成干涉图样,否则完全相同的像差分布的结构之间是不产生干涉图样的。
接着,我们再打开新的一个干涉图样分析窗口,将干涉光束 Beam 1 和 Beam 2 分别
设置为结构 1 和结构 2,并将使用出瞳形状(Use Exit Pupil Shape)去掉勾选,比
例因子设为 5 以方便看到范围更大的干涉图样。最终得到如图 13-12 所示的干涉图样,即
结构 1 和结构 2 所干涉形成的图样为条纹。
这里需要注意的是,像面位置仍然不能放在理想汇聚点,否则可能也无法看到干涉图样;
不过若是采用实际的透镜代替理想透镜,因为像差的存在,像面放在任何位置应该都能看到
干涉图样。
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图 13-10 结构 1 和结构 2 的光路及光斑点列图
图 13-11 结构 1 和结构 2 的干涉图及光斑点列图
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图 13-12 结构 1 和结构 2 的相互干涉图
前面说过,干涉是两束光束相互作用,并且这里不再是参考光束与设计光束之间干涉。
所以也会用到多重结构,先建立一个基础光路结构(Config 1)。如图 13-13 所示,输
入透镜面型数据,系统参数中,采用物空间数值孔径 NA0.2。Surface 1 和 Surface 2
为两个理想柱面镜,将光束准直为椭圆光斑。其后有两个反射镜,用来改变光路方向,最后
一个理想透镜聚焦,像面放在离焦位置。如果想更真实一些的话,可以将最后一个理想透镜
用实际透镜替代。
图 13-13 结构 1 透镜数据编辑器 LDE 列表
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