数字温湿度传感器
SHT 1x / SHT 7x
(请以英文为准,译文仅供参考)
_ 相对湿度和温度测量
_ 兼有露点
_ 全部校准,数字输出,
_ 卓越的长期稳定性
_ 无需额外部件
_ 超低能耗
_ 表面贴片或 4 引脚安装 完全互换
_ 超小尺寸
_ 自动休眠
SHT1x / SHT7x 产品概述
SHTxx 系列单芯片传感器是一款含有已校准数字信
号 输 出 的 温 湿 度 复 合 传 感 器 。 它 应 用 专 利 的 工 业
COMS 过程微加工技术(CMOSens®),确保产品
具有极高的可靠性与卓越的长期稳定性。传感器包括
一个电容式聚合体测湿元件和一个能隙式测温元件,
并与一个 14 位的 A/D 转换器以及串行接口电路在同
一芯片上实现无缝连接。因此,该产品具有品质卓
越、超快响应、抗干扰能力强、性价比极高等优点。
SHT1x
每个 SHTxx 传感器都在极为精确的湿度校验室中进
行校准。校准系数以程序的形式储存在 OTP 内存
中,传感器内部在检测信号的处理过程中要调用这些
校准系数。
两线制串行接口和内部基准电压,使系统集成变得简
易快捷。超小的体积、极低的功耗,使其成为各类应
用甚至最为苛刻的应用场合的最佳选则。
产品提供表面贴片 LCC(无铅芯片)或 4 针单排引脚
封装。特殊封装形式可根据用户需求而提供。
应用领域
_ 暖通空调 HVAC
_ 汽车
_ 消费品
_气象站
_湿度调节器
_除湿器
订货信息
型号 测湿精度
[%RH]
SHT 10 ±4.5
SHT 11 ±3.0
SHT 15 ±2.0
SHT 71 ±3.0
SHT 75 ±1.8
_ 测试及检测设备
_ 数据记录器
_ 自动控制
_ 家电
_ 医疗
1
框图
湿度
传 感
器
温度
传感器
测温精度
[℃]在 25℃
封装
±0.5
±0.4
±0.3
±0.4
±0.3
SMD(LCC)
SMD(LCC)
SMD(LCC)
4-pin 单排直插
4-pin 单排直插
校验存储器
D 1
4-bit
A
i
t
a
c
i
f
i
l
n
o
p
m
A
数字
2-线 接口
&
CRC
发生器
SCK
DATA
GND
VDD
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
1 传感器性能说明
条件
Min. Typ. Max. 单位
参数
湿度
分辨率 (1)
重复性
精度 (1)
不确定性
互换性
非线性度
量程范围
响应时间
迟滞
长期稳定性
温度
分辨率 (2)
重复性
精度(3)
量程范围
线性化
原始数据
线性化
1/e (63%)
25℃ ,1m/s 空气
典型值
1/e (63%)
传感器性能说明
响应时间
表 1
2 接口说明
Vdd
0.5
8
0.03
12
±0.1
0.03 %RH
Bit
12(2)
%RH
参见图 1
%RH
%RH
%RH
S
可完全互换
±3
<<1
100
10
8
±1
< 0.5
%RH
%RH/yr
0
6
0.04
0.07
12
-40
-40
5
0.01
0.02
14
0.01
0.02
14
±0.1
±0.2
参见图 1
123.8
254.9
30
图 1
相对湿度、温度和露点的精度曲线
2.2.1 串行时钟输入 (SCK)
SCK 用于微处理器与 SHTxx 之间的通讯同步。由于
接口包含了完全静态逻辑,因而不存在最小 SCK 频
率。
°C
°F
Bit
°C
°F
°C
°F
s
uC
(master)
GND
DATA
SCK
Vdd 2.4 - 5.5V
SHT1x
(slave)
2.2.2 串行数据 (DATA)
典型应用电路
图 2
2.1 电源引脚
SHTxx 的供电电压为 2.4~5.5V。传感器上电后,要
等待 11ms 以越过“休眠”状态。在此期间无需发送
任何指令。电源引脚(VDD,GND)之间可增加一个
100nF 的电容,用以去耦滤波。
2.2 串行接口 (两线双向)
SHTxx 的串行接口,在传感器信号的读取及电源损耗
方面,都做了优化处理;但与 I2C 接口不兼容,详情
参见 FAQ .
(1) 默认的测量精度为 14bit(温度)和 12bit(湿度),通过状态寄存器可分别降至 12bit 和 8bit。(2) Bits 的有效数字是 11bit。
(3)每支 SHTxx 传感器都在 25℃(77 °F)和 3.3V 条件下进行过标定并且完全符合精度指标。
DATA 三态门用于数据的读取。DATA 在 SCK 时钟下
降沿之后改变状态,并仅在 SCK 时钟上升沿有效。
数据传输期间,在 SCK 时钟高电平时,DATA 必须保
持稳定。为避免信号冲突,微处理器应驱动 DATA 在
低电平。需要一个外部的上拉电阻(例如:10kΩ)将
信号提拉至高电平(参见图 2)。上拉电阻通常已包
含在微处理器的 I/O 电路中。详细的 IO 特性,参见表
5。
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
2.2.3 发送命令
用一组“ 启动传输”时序,来表示数据传输的初始
化。它包括:当 SCK 时钟高电平时 DATA 翻转为低电
平,紧接着 SCK 变为低电平,随后是在 SCK 时钟高
电平时 DATA 翻转为高电平。
DATA
SCK
图 3
"启动传输" 时序
后续命令包含三个地址位(目前只支持“000”),和
五个命令位。SHTxx 会以下述方式表示已正确地接收
到指令:在第 8 个 SCK 时钟的下降沿之后,将 DATA
下拉为低电平(ACK 位)。在第 9 个 SCK 时钟的下降
沿之后,释放 DATA(恢复高电平)。
代码
0000x
00011
00101
00111
00110
0101x-1110x
11110
命令
预留
温度测量
湿度测量
读状态寄存器
写状态寄存器
预留
软 复 位 , 复 位 接 口 、 清 空 状 态 寄 存
器, ,即清空为默认值
下一次命令前等待至少 11ms
表 2
SHTxx 命令集
2.2.4 测量时序(RH 和 T)
发布一组测量命令(‘00000101’表示相对湿度 RH,
‘00000011’表示温度 T)后,控制器要等待测量结
束 。 这 个 过 程 需 要 大 约 20/80/320ms , 分 别 对 应
8/12/14bit 测量。确切的时间随内部晶振速度,最多可
能有-30%的变化。SHTxx 通过下拉 DATA 至低电平并
进入空闲模式,表示测量的结束。控制器在再次触发
SCK 时钟前,必须等待这个“数据备妥”信号来读出
数据。检测数据可以先被存储,这样控制器可以继续执
行其它任务在需要时再读出数据。
接着传输 2 个字节的测量数据和 1 个字节的 CRC 奇偶
校验。uC 需要通过下拉 DATA 为低电平,以确认每个
字节。所有的数据从 MSB 开始,右值有效(例如:对
于 12bit 数据,从第 5 个 SCK 时钟起算作 MSB;而对
于 8bit 数据,首字节则无意义)。
用 CRC 数据的确认位,表明通讯结束。如果不使用
CRC-8 校验,控制器可以在测量值 LSB 后,通过保持
确认位 ack 高电平,来中止通讯。
在测量和通讯结束后,SHTxx 自动转入休眠模式。
警告:为保证自身温升低于 0.1℃,SHTxx 的激活时
间不要超过 10%(例如,对应 12bit 精度测量,每秒最
多进行 2 次测量)。
2.2.5 通讯复位时序
如果与 SHTxx 通讯中断,下列信号时序可以复位串
口:
当 DATA 保持高电平时,触发 SCK 时钟 9 次或更多。
在下一次指令前,发送一个“传输启动”时序。这些
时序只复位串口,状态寄存器内容仍然保留。
DATA
SCK
图 4
1
2
3
4 -8
9
通讯复位时序
Transmission Start
2.2.6
CRC-8 校验
数字信号的整个传输过程由 8bit 校验来确保。任何错
误数据将被检测到并清除。
详情可参阅应用说明“CRC-8 校验”。
图 5 RH 测量时序举例: “0000’1001 ’ 0011’0001”= 2353 = 75.79 %RH (未包含温度补偿)
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
图 6 测量时序概览 (TS = 启动传输)
2.3 状态寄存器
SHTxx 的某些高级功能可以通过状态寄存器实现。下
面的章节概括介绍了这些功能。
详情可参阅应用说明“状态寄存器”。
图 7
状态寄存器写
图 8
状态寄存器读
R
Bit 类型 说明
7
预留
6
电量不足 (低电压检测)
‘0’对应 Vdd > 2.47
‘1’对应 Vdd < 2.47
预留
预留
仅供测试, 不使用
R/W 加热
R/W 不从 OTP 加载
R/W
5
4
3
2
1
0
‘1’= 8bit RH / 12bit T 分辨率
‘0’=12bit RH / 14bit T 分辨率
状态寄存器位
2.3.1 测量分辨率
表 3
默认值
0
X 无默认值,
此位仅在测量
结束后更新
0
0
0
0 关
0 加载
0 12bit RH
14bit T
默认的测量分辨率分别为 14bit(温度)、12bit(湿
度),也可分别降至 12bit 和 8bit。通常在高速或超
低功耗的应用中采用该功能。
2.3.2 电量不足
“电量不足”功能可监测到 Vdd 电压低于 2.47V 的
状态。精度为±0.05V。
2.3.3 加热元件
芯片上集成了一个可通断的加热元件。接通后,可将
SHTxx 的温度提高大约 5-15℃(9-27℉)。功耗增加
~8mA @ 5V。
应用于:
1) 试样参数周期性抽检但非 100% 检测
(2) 由于传感器在 3.3V 校准,对于要求最高精度测量推荐采用 2.4-3.6V 供电
(3) 每秒进行一次 8bit 精度的测量,不加载 OTP
(4) 每秒进行一次 12bit 精度的测量
比较加热前后的温度和湿度值,可以综合验证两个传
感器元件的性能。
• 在高湿度 (>95 %RH) 环境中,加热传感器可防止
凝露,同时缩短其响应时间,提高测量精度。
警告: 加热后较之加热前,SHTxx 将显示温度值略
有升高、相对湿度值稍有降低。
2.4 电气特性(1)
VDD=5V,T = 25℃,除非特殊标注
参数
供电 DC
条件
测量
平均
休眠
ICL <4mA
Rp<25kΩ
下降沿
上升沿
on
三态门 (off)
Min. Typ. Max. 单位
2.4
2(3)
0
90%
0
80%
5.5(2) V
µA
µA
1.5 µA
250 mV
100% Vdd
20% Vdd
100% Vdd
1 µA
4 mA
20 µA
5
550
28(4)
0.3
10
Min Typ. Ma 单位
10 MHz
1 MHz
条件
VDD > 4.5 V
VDD < 4.5 V
3.5 10 20 ns
输出负载 5 pF
输出负载 100 pF 30 40 200 ns
ns
ns
ns
ns
ns
100
100
0
250
10
200
SHTxx I/O 信号特性
表 4
SHTxx DC 特性
供电电流
低电平输出电压
高电平输出电压
低电平输入电压
高电平输入电压
焊盘上的输入电流
输出峰值电流
FSCK
参数
SCK 频率
TRFO DATA 下降时间
TCLx SCK 高/低时间
TV
DATA 有 效 时
TSU DATA 设 定 时
THO DATA 保持时间
TR/TF SCK 升/降时间
表 5
图 9 时 序 图
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
3 输出转换为物理量
3.1 相对湿度
为了补偿湿度传感器的非线性以获取准确数
据,建议使用如下公式1修正输出数值:
RH
SO
SO
+
2
RH
RH
1
c c
=
+
linear
SORH
12 bit
8 bit
•
2
c1
-4
-4
c
•
3
c2
0.0405
0.648
c3
-2.8 * 10-6
-7.2 * 10-4
表 6
湿度转换系数
简化的修正算法,可参阅应用说明“相对湿度
与温度的非线性补偿”。
对高于 99%RH 的那些测量值则表示空气已经
完全饱和,必须被处理成显示值均为 100%2RH。
湿度传感器对电压基本上没有依赖性。
图 10 从 SORH 转换到相对湿度
3.1.1 湿度传感器相对湿度的温度补偿
实际测量温度与25℃ (~77℉)相差较大时,
应考虑湿度传感器的温度修正系数:
RH
linear
(t
1
SO
true
•
2
)
RH
25)
-
(T
=
C
°
SORH
12 bit
8 bit
表 7 温度补偿系数
t
•+
t1
0.01
0.01
RH
+
t2
0.00008
0.00128
相当于 ~0.12 %RH /℃ @ 50 %RH
SORH
表示传感器的相对湿度输出数值(大约范围在 90-3400)
1
2 如果传感器过度潮湿(传感器表面出现强冷凝)输出信号有时候会低
于 100%RH,甚至低于 0%RH。微小水滴蒸发后传感器性能就会完全恢
复。传感器浸入水中或者产生冷凝不会受到损害。
d2
[℉]
0.018
0.072
3.2 温度
由能隙材料 PTAT (正比于绝对温度) 研发的温度
传感器具有极好的线性。可用如下公式将数字输
出转换为温度值:
Temperatur
d
•
+
d1 [℉]
e
d
=
1
d1 [℃]
SO
d2 [℃]
VDD
SOT
T
2
5V
4V
3.5V3
3V3
2.5V3
表 8
-40.00
-40.00
-39.75
-39.55
-39.66
-39.39
-39.60
-39.28
-39.55
-39.19
温度转换系数
14bit
12bit
0.01
0.04
在极端工作条件下测量温度时,可使用进一步
的补偿算法以获取高精度。可参阅应用说明“相
对湿度与温度的非线性补偿”。
3.3 露点
由于湿度与温度经由同一块芯片测量,SHTxx
系列产品可以同时实现高质量的露点测量。可
参阅应用说明“露点计算”。
3
SHTXX-V4 版传感器改进的温度系数 d1 赋值:
对于 3.5V: d1(℃)_3.5V=39.60 / d1(℉)_3.5V=39.28
对于 3V: d1(℃)_3V=39.50 / d1(℉)_3V=39.10
对于 2.5V: d1(℃)_2.5V=39.45 / d1(℉)_2.5V=39.01
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
4 应用信息
4.1 工作与贮存条件
[%RH]
100
80
60
40
20
0
Normal operating
conditions
Maximum operating
conditions
-20
-40
100
图 11 建议的正常工作条件(绿色区域)
40
60
80
0
20
[°C]
120
超出建议的工作范围可能导致高达 3%RH 的临时
性漂移信号。返回正常工作条件后,传感器会缓慢
地向校准状态恢复。要加速恢复进程可参阅 4.3 小
节的“恢复处理”。在非正常工作条件下长时间
使用会加速产品的老化过程。
4.2 暴露在化学物质中
电容式湿度传感器的聚合层会受到化学蒸汽的干
扰,化学物质在聚合层中的扩散可能导致测量值
漂移和灵敏度下降。在一个纯净的环境中,污染
物质会缓慢地释放出去。下文所述的恢复处理将
加速实现这一过程。高浓度的化学污染会导致传
感聚合层的彻底损坏。
4.3 恢复处理
置于极限工作条件下或化学蒸汽中的传感器,通过
如下处理程序,可使其恢复到校准时的状态。
在 80-90℃ (176-194℉) 和< 5%RH 的湿度条件下保持
24 小时(烘干); 随后
在 20-30℃ (70-90℉) 和>74%RH 的湿度条件下保
持 48 小时以上。(重新水合)
4.4 温度影响
气体的相对湿度,在很大程度上依赖于温度。因
此在测量湿度时,应尽可能保证湿度传感器在同
一温度下工作。
如果与释放热量的电子元件共用一个印刷线路
板,在安装时应尽可能将SHTxx远离电子元件,
并安装在热源下方,同时保持外壳的良好通风。
为降低热传导,SHT1x 与印刷电路板其它部分的
铜镀层应尽可能最小,并在两者之间留出一道缝
隙 ( 参见图 13 ) 。
4.5 隔膜
采用隔膜可防止灰尘进入以保护传感器同时会减
少化学蒸汽的浓度。为获得最佳的响应时间,隔
膜后面的空气体积应减至最小。对于 SHT1X 封装
系列,盛世瑞恩推荐使用 SF1 型过滤罩以达到最佳
的 IP67 保护等级。
(1) 温度传感器通过了所有的测试,没有任何漂移。 亦 100%通过包装及电子测试。
4.6 光线
SHTxx 对光线不敏感。但长时间暴露在太阳光下或
强烈的紫外线辐射中,会使外壳老化。
4.7 用于密封和安装的材质
许多材质吸收湿气并将充当缓冲器的角色,这会
加大响应时间和迟滞。因此传感器周边的材质应
谨慎选用。推荐使用的材料有:所有的金属, LCP,
POM (Delrin), PTFE (Teflon), PE, PEEK,PP,
PB, PPS, PSU, PVDF, PVF
用于密封和粘合的材质(保守推荐):推荐使用充
满环氧树脂的方法进行电子元件的封装,或是硅
树脂。这些材料释放的气体也有可能污染
SHTxx(见4.2)。加工后应将传感器置于通风良好
处,或在50℃的环境中干燥24小时,以使其在封装
前将污染气体释放。
4.8 配线注意事项与信号传输的完整性
使SCK和DATA信号线相互平行以及使它们相互靠
近且距离超过10cm(如使用导线时),有可能导
致信号串扰和通讯失败。解决方法是在两个信号
线之间配置VDD和/或GND线。详情可参阅应用说
明“ESD、latch-up和EMC”。
如使用导线,应在电源引脚(VDD,GND)之间
应跨接一个100nF的电容,用以去耦滤波。
4.9 产品资质
本品经过了广泛的各种环境条件的测试。
请联系 Sensirion 获取详细信息。
标 准
环 境
温度循环
高温高压蒸煮
高温和湿度
盐雾试验
冷凝空气
冷冻循环
完全浸没
JESD22-A104-B -40℃
/ 125℃, 1000cy
JESD22-A110-B
2.3bar 125℃@5%RH
JESD22-A101-B
85℃ 85%RH 1250h
DIN-50021ss
-
-20 / +90℃, 100cy
30min 驻留时间
结
符合本手册
+2 %RH 的可逆漂
移
+2 %RH 的可逆漂
移
符合本手册
符合本手册
+2 %RH 的可逆漂
移
符合本手册
DIN 72300-5
品质测试 (摘录)
各种汽车化学品
表 9
4.10 ESD (静电释放)
ESD静电释放符合MIL STD 883E标准method 3015(人
体模式±2KV)。电路闭锁测试依据JEDEC 17标准,
满足强制电流在±100 mA,环境温度Tamb = 80℃条件
下不闭锁。详情可参阅应用说明“ESD、latch-up、
EMC”。
注释
接地
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
5 包装信息
5.1 SHT1x (表面安装)
Pin 名称
GND
1
DATA 串行数据, 双向
2
SCK
串行时钟, 输入
3
VDD
4
供电 2.4 - 5.5 VDC
NC
剩余引脚请勿连接
表 10
5.1.1 包装类型
SHT1x 采用表面贴装LCC(无铅芯片载体)包装方
式。液晶聚合物环氧包覆外壳,标准0.8 mm FR4衬
底。不含铅、铬、汞(完全符合RoHS,WEEE标准要
求)。尺寸:7.42×4.88×2.5 mm
重量:100毫克
SHT1x V3 版 生产日期用 3 位白色数字标识于传感器
顶部,格式为 “wwy”. (SHT1x V4 版 :以字母的
形式标注生产该批次传感器的晶圆代码)
SHT1x 引脚说明
5.1.2 运输条件
SHT1x 置于 12mm 塑胶盘以 100 片或 400 片卷装。
(SHT10 仅以 2000 片包装)胶盘以条形码或可读标
签分别做标记。批号可直接追踪至生产、校准和测试
信息。
手工焊接,在最高 350℃的温度条件下接触时间须少
于 5 秒。
焊接后,必须将传感器置于>74%RH的环境下存放至
少48小时,以保证聚合物的重新水合。
详情可参阅应用说明“焊接规程”。
5.1.4 安装举例
缝隙用以减少来自
PCB 的热传导
SHT1x PCB 安装举例
图 13
使用 SF1 型隔膜过滤罩可以达到 IP67 的保护等级。
使用外壳封装,可以保护内部不受环境影响,从而保
证高精度的湿度测量。
图 12 胶带结构和单片包装
5.1.3 焊接信息
可以使用标准的回流焊炉,操作详见 “焊接程序”。
俯 视 图
侧 视 图
图 15
SHT1x 尺寸图和引脚尺寸 mm (inch)
图 14 SHT1x 安装举例
推荐的 PCB 封装
图 17
SHT7x 尺寸 mm (inch)
焊接后,将传感器在>74%RH的环境下存放至少
24小时,以保证聚合物的重新水合。
详情可参阅应用说明“焊接规程”。
SHT1x / SHT7x 系列温湿度传感器
5.2 SHT7x (4-pin 单排引脚)
注释
Pin 名称
1
2
3
4
表 11
SCK 串行时钟, 输入
VDD 供电 2.4 - 5.5 V
GND 地
DATA 串行数据, 双向
SHT7x 引脚说明
5.2.1 包装类型1
SHT7x采用4针的单排引脚形式包装。液晶聚合物
环氧包覆外壳,标准0.6 mm FR4衬底。不含铅、
铬、汞(完全符合RoHS,WEEE标准要求)。传感
器头部通过小桥接器实现与引脚的连接,以降低热
传导及响应时间。传感器头部背面的镀金板与
GND引脚相连。
在背面VDD与GND之间安装了一个100nF的电
容。所有引脚均镀金处理,以防腐蚀。可焊接使
用,也可与1.27 mm (0.05”)的插槽匹配。
例如: Preci-dip / Mil-Max 851-93-004-20-001或
类似产品。
总重量:168 mg, 传感器重量:73 mg
SHT1x V3 版 生产日期用 3 位白色数字标识于传感
器顶部,格式为 “wwy”. (SHT1x V4 版 :批号)
5.2.2 运输条件
SHT7x 以 32mm 胶带卷装运输。每个直径为 13 英
寸的标准胶盘可装 500 片。胶盘以条形码或可读标
签做单独标记。
图 16 胶带结构和单片包装
5.2.3 焊接信息 2
使用标准的波峰焊炉,在最高 250℃的温度条件下
不超过 30 秒。
手动焊接,在最高 350℃的温度条件下接触时间须
少于 5 秒。
1 可根据特殊需求提供其它包装方式。
2 用于最高精度时不要焊接 SHT75。