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衍射光学技术及其应用.pdf

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衍射光学技术及其应用 内容: 1. 什么是衍射光学,优势何在? 2. 如何设计衍射光学器件? 3. 如何加工衍射光学器件? 4. 衍射光学器件的应用
光线:折射、反射 传播方向由斯涅耳公式确定 薄透镜成像 能量分配由菲涅耳公式确定
电磁波:衍射、干涉、偏振等 杨氏双缝干涉实验 单缝衍射实验
1、什么是衍射光学? 信息的获取 信息的传输 信息 信息的存储 仪器仪表 信息的处理 信息的显示 · · · · · · 光学仪器仪表 激光 1960年
光学技术与仪器的发展趋势: 小(微)型化、阵列化、集成化。 传统的光学器件对此却“心有余而力不足”,供需矛盾就要 求在技术上要有所创新与突破。 微光学
微光学两个主要分支: 基于折射原理的梯度折射率光学 基于光波衍射原理的衍射(二元)光学 1987年,美国MIT林肯实验室Veldkamp领导的研究组在设计 新型传感系统中,率先提出了“二元光学”的概念。 二元光学元件因其在实现光波变换上所具有的许多卓越的、 传统光学难以具备的功能,而有利于促进光学系统实现微型 化、阵列化和集成化,开辟了光学领域的新视野。
衍射光学定义:基于光的衍射理论,利用计算机辅助设计、 并用大规模集成电路制作工艺,在基片上(或传统光学器件 表面)刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构,它是一种 纯位相衍射光学元件。 折射透镜到衍射光学器件浮雕结构的演变
掩模 曝光 显影 刻蚀 二元!
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