logo资料库

SEMI S22-0706a 半導體 電氣設計.pdf

发布时间：2022-06-26 发布人：admin 分类：说明书 资料大小：2.86M 资料格式：pdf 举报 版权申诉
第1页 / 共58页
第2页 / 共58页
第3页 / 共58页
第4页 / 共58页
第5页 / 共58页
第6页 / 共58页
第7页 / 共58页
第8页 / 共58页
资料共58页，剩余部分请下载后查看
    SEMI_S22_top.pdf
    SEMI S22-0706a.pdf
    範本bottom.pdf
    SEMI S22-0706a 半導體製造設備電氣設計 安全基準 i
    序 中文化、國際化 用國際技術標準提升台灣產業發展 SEMI (國際半導體設備材料產業協會)從 1970 年起開始推動產業國際技術標 準的制定，提供半導體與平面顯示器產業的元件製造商和設備材料供應商一個交 換訊息的機制，共同討論和制定技術規格和影響產業經濟的重要標準，來克服技 術挑戰、提升生產力，進而促進產業的整體發展。迄今，全球共有超過 2200 位 來自半導體元件製造商和設備材料供應業者等產官學研的專家，志願投入 SEMI 產業國際技術標準制定的行列，在全球共有 18 個標準委員會積極運作。從 1970 年初統一晶圓尺寸、1980 年初公佈影響半導體製程自動化的 SECS II 通訊協定 標準，到 1991 年發表環境衛生安全(EHS)標準—S2，SEMI 目前已協助產業累積制 定了 770 餘條的技術標準和安全規範。 在 SEMI 的推廣之下，國內製造商與設備供應商都已經採用 SEMI 國際技術標 準，而為了能更貼近國人閱讀習慣，SEMI 開始著手計畫標準文件中文化工作。 由於台灣是全球半導體和平面顯示器產業的製造輸出重鎮，在環境衛生安全的議 題上更為重要。因此，SEMI 在去年積極邀請產業專家，擴大台灣安全衛生環保 (EHS)標準委員會的組織，並於 12 月授權 SAHTECH 進行 SEMI 安全基準(Safety Guideline)標準文件中文化翻譯。 很高興看到第一份中文化的產業國際標準文件在三個月之內誕生。非常感謝 安全衛生技術中心(SAHTECH)及 SEMI 安全衛生環保標準委員們在百忙之中抽空 進行此專案。透過中文化安全規範標準文件的推廣，SEMI 希望能夠提升國內半 導體與平面顯示器產業相關從業人員對於安全及環境維護的知識，另一方面則希 望持續促進設備商與終端使用者的溝通，並進一步協助政府建立一套符合國內高 科技產業環境衛生安全的完整法規。 為了加快中文化的腳步，SEMI也以已計畫於今年4月份進行 SEMI FPD 國際 技術標準文件中文化的專案。而除了以中文化的方式推廣產業標準外，SEMI更希 望積極協助國內產業參與國際技術標準的制定。因此，我們已於去年12月成立FPD 標準工作小組，目前更正積極籌組太陽能產業相關標準委員會。透過整合產業、 政府與學界的力量，SEMI希望能有效促進台灣半導體、平面顯示器、太陽能，以 及未來更多新興科技產業的發展，為持續提升台灣在國際間的競爭力盡一份心 力! 最後，再次感謝本參與本專案的所有菁英，你們的付出將讓產業更健康發展! i
    在此，也期許未來有更多希望促進產業發展的產/官/學/研專家，共同參與 SEMI 的國際技術標準制定工作，為台灣產業發聲! 曹世綸 SEMI 台灣暨東南亞區總裁 ii
    序 半導體與影像顯示器產業被稱為台灣的明星高科技產業，對台灣 經濟有巨大貢獻，其上、中、下游整體就業人口眾多。然而，此兩大 產業一路蓬勃發展以來，設備意外災害仍偶有所聞，而且新推出的機 台仍十分耗水、耗能，在在都顯示此二產業的生產設備相關的安全與 環保進步空間仍大。 設備安全與環保管理應從設計階段開始。現在的半導體及影像顯 示器產業設備極為精密與昂貴、趨向大型化、而其製程所使用的化學 品也更加複雜，任何疏漏都可能導致重大工安事故與或環境衝擊。因 此，設備設計製造除了追求提升製程性能與管控成本之外，也應審慎 考量安全、環保與人因工程。針對此，建立統一的相關標準以供依循 則是首要。 目前 SEMI 設備安全與環保標準為全球半導體與影像顯示器設 備製造商所廣泛參考採用，同時眾多設備用戶也常將通過該標準驗證 列為採購時的必要需求，只可惜多年來 SEMI 設備安全標準一直只有 英文版，缺乏高品質、可信賴的中文譯本以服務廣大華人業者，誠是 一件憾事。 茲聞經由 SEMI 授權，財團法人安全衛生技術中心(SAHTECH) 與包含本公司同仁在內的半導體與影像顯示器產業界安全環保領域 專家，在工作百忙之中共同逐步完成各 SEMI ESH 標準的中文翻譯 工作，方便未來眾多華人世界從業人員參閱並應用此一標準，進而促 進兩大產業的安全與環境維護。這個創舉與本公司善盡企業社會責任 的觀念一致，本人除對此次參與翻譯與編審的所有人員表示欽佩之 外，也更期待兩大產業環安零事故，業績蒸蒸日上。 謹識 台灣積體電路製造股份有限公司 資財暨風險管理組織 資深副總經理 iii
    序 高科技產業是台灣經濟發展的命脈，因國內設備製造商能力不 足，我國高科技廠商大多是外國機台的終端使用者，任何設備潛在危 害所衍生的工安事故或生產中段，國內廠商受到的衝擊是最直接的。 為因應工研院經營策略的調整，2006 年初原服務於環安中心的 部分同仁，基於延續十餘年安全技術研發能量並持續提供業界技術服 務的考量，特別成立財團法人安全衛生技術中心(以下簡稱本中心)。 為了彙整我國高科技產業對工安環保的需求並凝聚業界的力量，本中 心和許多業界先進成立 SEMI Taiwan 安全衛生環保委員會，以促進 台灣和 SEMI 北美、歐洲與日本的互動。在 SEMI 3814 平面顯示產 業設備安全基準制定的過程中，我們充分展現了設備終端使用者團結 的力量。 我國高科技產業持續蓬勃發展，除半導體和平面顯示外，矽薄膜 太陽能電池產業也陸續建廠，製程技術不斷更新，對安全技術的需求 更是殷切。 SEMI 雖早已制定設備安全基準並積極推廣，但因語言的隔閡， 不同廠商甚或同一廠商不同部門對 SEMI S2 的認知都不盡相同，為 避免解讀的差異，SEMI Taiwan 安全衛生環保委員會於 2007 年決議 推動 SEMI 安全系列中文化的工作，期能提供華文區域高科技從業人 員一份完整的安全基準，降低人員傷害和財務損失。此外，SEMI 安 全基準亦有助於設備終端使者和製造商的溝通，有效消除或控制安全 衛生和環保潛在危害。 SEMI 安全系列中文化的工作，幸蒙高科技廠商及大型設備供應 商的鼎力支持，分別負責不同章節的翻譯方得以順利完成，在此本人 謹代表 SEMI Taiwan 安全衛生環保委員會特別感謝台積電、聯電、 奇美、友達、優貝克、漢民、旺宏和勞委會勞工安全衛生研究所專家 iv
    的投入和辛勞。 本中文化 SEMI 安全系列因作業時間倉促，疏漏之處甚多，尚祈 各界先進不吝指教為禱。 敬上 SEMI Taiwan 安全衛生環保委員會共同召集人 財團法人安全衛生技術中心董事長 v
    感謝 SEMI 安全系列中文化為使用者、供應商、研究單位共同合作完成之 成果，謹代表 SEMI Taiwan ESH 主席于樹偉教授及許芳銘處長感謝下 列提供協助的單位與人員： 台積電 聯電 奇美 友達 茂德 漢民 優貝克 旺宏 風險管理處許芳銘處長、孫讀文經理、曾 裕德、李傳德 風險管理暨安環處高慶揚處長、吳博文副 處長、李谷蘭經理 風險管理處廖海瑞處長、林永芬經理、吳 豐任課長、蕭凱文 風險暨環安管理部牛銘光經理、林立偉、 謝彩惠、陳玉峰 安環處姜子偉經理、吳政昭 總經理許金榮 總經理蔡有哲、吳東嶸協理 風險管理處沈洲處長、駱金雄經理 勞 工 安 全 衛 生研究所 安 全 衛 生 技 術中心 所長石東生博士、勞工衛生組長張振平博 士 總經理余榮彬博士、風險控制處蘇恆立處 長 SAHTECH SEMI 安全系列雖經上述公司協助翻譯及校閱，仍不敢保證翻譯內容 正確或用詞貼切。特別強調如有任何差異應以英文版為主；如有錯誤 修正或有任何建議請寄 cchuang@sahtech.org；此外英文版修正時， 中文版將隨即更新。 黃建彰 SEMI Taiwan FPD 設備安全委員會主席 SEMI Taiwan IC 設備安全工作小組召集人 安全衛生技術中心副總經理 ctive holders. vi
    SEMI S22-0706a 半導體製造設備的電氣設計安全基準 本安全基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准。本版本由全球稽核及審查小組委員會於 2006 年 8 月 24 日核准出版，並於 2006 年 10 月於 www.semi.org 發行線上版本，同年 11 月發行光碟版。本 基準原始版本於 2003 年 11 月發行，2006 年 7 月再版。 注意：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全 基準。委員會提供註解內容係為方便本安全基準的使用。 注意：符合本基準提及「應」字的內容規定始屬符合本文件之標準。符合本文件標準不代表 亦需符合提及「可能」、「建議」、「偏好」、「推薦」或「註」及「相關資料」之內容規定。 注意：本文件包含經由全球環境、衛生與安全委員會投票並核准（但並非立即生效）之內容； 該內容與生效日期列於延時修訂版第 1 節，其在生效日前並非本文件的官方內容。本版本之 資料於生效日前不屬於本文件的正式部分，但 SEMI S22 的本文部分仍具正式效力。本版本 的部分或所有內容得在正式生效前視情況適用，然除本文件中將以本版本修訂或更換的內容 外，所適用之條文不得與本文件其他條文抵觸，並應在適用處加註說明。 1 目的 1.1 本基準係在針對半導體產業使用的生產設備提供以設計為主的整套電氣安全考量。 1.2 符合本文件規定之設計、建構與設計原則或其他可用的電氣安全標準需求，便可符合 基本的產品安全考量。 2 範圍 2.1 本安全基準適用於半導體製造設備。 2.2 本文件包含以下內容： 1. 目的 2. 範圍 3. 限制 4. 參考標準 5. 詞彙 6. 其他符合方法 7. 設計原理 8. 一般考量 9. 設施電氣連接 10. 預防觸電 11. 預防電氣火災危險 12. 聯結保護線 13. 安全電路 14. 介面控制 15. 電氣箱 16. 導線與電線 17. 接線實務 1 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006
    分享到：
    赞 收藏

    相关推荐

    资料库

    安全技术

    共收录1285份资料，累计4个分类，关注成员有19位，主要包括：网络攻防,系统安全,其它,网络安全

    热门标签

    网络攻防 系统安全 其它 网络安全

    最新资料